Q. 반도체 설비 레시피

답변 5

• 탁

  탁기사삼성전자

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  일치

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  채택된 답변

  설비 레시피 모두 공정엔지니어가 하나하나 짭니다. 그러나 예전부터 구설로 내려오는 그런 레시피들은 복사해서 많이쓰고 새롭게 평가를 하거나 신규케미칼이 들어오거나 신규제품에서는 레시피를 변형시켜 평가를 하게되는거죠 ㅎ 다 자동은 없습니다 ㅎ 그리도 fdc로 spec out시 설비문제인지, 공정파라미터문제인지, 공정에서 잘못 스펙을 걸진 않았는지 이런거 다 보게되고 당연히 설정값대로 유량이안나오거나하면 설비 원인이돼서 설비쪽에서 조치하게됩니다

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  댓글 2

  라

  라임콜라맛

  작성자

  2026.03.10

  답변감사합니다 ! 말씀주신 엔지니어가 설계가아닌 공정기술 엔지니어 맞을까요?

  탁

  탁기사삼성전자

  2026.03.10

  @라임콜라맛 공정엔지니어가 직접 레시피 만듭니다 ㅎ

• 개

  개미는오늘도뚠뚠삼성전자

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  일치

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  채택된 답변

  안녕하세요, 멘티님 취준으로 고생많습니다. 이해하신대로 베이스는 자동이되, 특정 이슈 및 조정이 필요한 상황이 오면 직접 조정할 상황도 물론 발생합니다.

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• 황

  황금파이프삼성전자

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  일치

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  안녕하세요. 설비 레시피라고 하면 웨이퍼가 설비에 안착하고, 공정을 진행하고, 공정이 끝나면 웨이퍼가 설비에서 빠져나가는 시퀀스를 말씀하시는 것 같은데요 이런 레시피는 기본적으로 시퀀스로 구성이 되며, 설비 구동부분에서 마땅한 스펙이 다 있습니다. 사전에 CAL 작업을 하기 때문에 이상거동을 예측 및 감지할 수 있죠.

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• 흰

  흰수염치킨삼성전자

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  일치

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  안녕하세요. 멘토 흰수염치킨입니다. 설계 단계부터 레시피는 설정돼요 그리고 실 공정하면서 일부 튜닝하면서 최적 조건 찾는거에요 도움이 되었으면 좋겠네요. ^_^

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• P

  PRO액티브현대트랜시스

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  반도체 공정에서는 먼저 목표 특성을 만족시키는 공정 레시피가 정의되고, 이를 실제 장비에서 구현할 수 있도록 설비 레시피로 변환됩니다. 설비 레시피에는 온도, 압력, 가스 유량, RF 파워, 시간 등의 장비 파라미터가 포함되며 보통 공정개발 엔지니어가 공정 조건을 설계하고 장비 엔지니어와 협업해 장비에 맞는 레시피로 세팅합니다. 양산 단계에서는 FDC로 이상 신호를 모니터링하고 Spec out이 발생하면 원인으로 의심되는 부품 점검이나 파라미터 조정을 통해 공정을 안정화합니다!!

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